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而且,陈舟并不打算一开始就针对cvd法去研究。
他打算先全面一点,再寻求突破。
金刚石薄膜的制备方法有一个变迁。
从上世纪50年代的高温高压,到80年代初日国科学家首次使用的cvd法,再到今天的多种合成方法。
说是多种合成方法,但其实也都是基于cvd法的基础上,进行改进的。
【热丝制备金刚石膜】
这篇文献对于hfcvd法制备金刚石膜的介绍比较全面。
虽然这种方法是cvd法的鼻祖,但是现在使用的仍然非常普遍,而且发展成沉积金刚石薄膜较为成熟的方法之一。
这种方法需要在衬底上方设置金属热丝,常用的像钨丝、钽丝。
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