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第257章 第一个成果 (6 / 10)

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        彭飞一进门,就说道:“那个,陈舟,文献有点多,明天上午给你,行么?”

        “没问题。”陈舟回了一句,随手拿起桌子上的草稿纸,递给了彭飞。

        彭飞疑惑的接过来看了一眼,随即双眼圆睁,有点难以置信的看着草稿纸上的内容。

        【衬底托的形状,建议采用矩形压缩波导和板对板的结构……】

        【甲烷的体积分数建议先大后小,由4%开始,逐步控制在1.5%左右……】

        【微波功率则建议由小到大,从0.4kw开始,逐步提升至1.2kw……】

        【装置内工作压力,建议控制在195torr……】

        【衬底温度建议控制在970℃条件下……】

        【这样的工况参数之下,生长的单晶金刚石薄膜速率大概是125μm/h……】

        【质量……】

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